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隸屬專案

前瞻基礎建設計畫(數位建設)

計畫摘要

1060885：分項一、高階分析儀器的自研、自製與自用
1.調查市場需求、人才、智財及資料分析
2.建立基礎設施，包含機械和電子工作室、高階質譜儀實驗室、高階光電分析儀實驗室等 3.原型機開發
可攜式超音波影像儀原型機裝置

1060885：分項二、支援產業創新之關鍵儀器設備與服務平台1.完成國內自製3D封裝製程曝光機設備驗證
2.以3D封裝製程曝光機進行先進3D多功能智慧型晶片異質封裝製程驗證
3.完成國內自製原子層蝕刻設備驗證
完成國內自製3D封裝製程曝光機設備驗證

1060885：分項三、產線智慧化系統
1.建置跨場域環境及加工設備製程監控可視化
2.建構生產示範案例六案
3.智慧製造自動化系統
4.智慧製造軟體系統
結案及觀摩活動

年度目標

年度目標總說明

重要執行成果

分項一(中研院)
1.合作團隊養成累計達23件。
2.自製可攜式離子游離儀，成功測試毒品樣品。

分項二(科技部)
1.已完成智慧化UV-LED曝光機小型光源之開發，透過自動控制軟體將可達成於 7mm * 7 mm 的單晶片曝光面積下2.32%之均勻度。
2.已完成曝光機投影鏡頭之組裝與測試，並成功驗證可達線寬5 um/線距10 um之曝光投影效能。
3.以曝光機方式進行晶圓邊緣圖案化，並以蝕刻方式進行邊緣導溝，此方式有效解決邊緣裂化問題。
4.已完成真空腔體組件、氣體管路控制組件、電漿系統模組及電控系統組件等ALE關鍵模組系統整機組裝。
5.以自製ALE機台成功建立GaN常開型高功率氮化鎵綠色功率元件製程技術平台(元件特性指標可達ID > 10A、Ron < 9.68 ohm-mm、BV > 900V)，並將製程參數及蝕刻結果回饋到自研自製機台設計作為參考。

分項三(經濟部)
1.完成花鼓、座管（自行車）、葉輪 、 鋁圈（汽機車）、閥體（水五金）、換刀臂、連軸器、軸承座（工具機）、OGV葉片（航太）共9種樣式工件之智慧製造混線試量產展示驗證。
2.智慧製造試營運場域暨全球智慧機械發展中心於9/7正式掛牌，邀請總統及各級長官參與啟用典禮及揭牌儀式，並舉辦科技創新實驗場域啟航論壇，由龔明鑫次長擔任主持人，與談人有三菱電機-玉井武志執行副總、台灣西門子-艾偉執行長、台灣微軟-孫基康總經理、工研院-張副院長、機械工會-莊大立副理事長、工具機零組件工會-嚴瑞雄理事長。